规格参数
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1.AIKa X射线可聚焦和扫描,最小采谱束斑≤10μm;可应对从大面积到微米级微区的分析应用需求; |
应用领域
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2018年9月投入使用,应用于表面领域的元素种类确定、元素化学结合状态推测以及原子浓度的计算,是一种材料的表面分析技术。通过结合物理或者化学的表面刻蚀技术,又可对材料深度方向的相关信息进行追踪调查,为半导体产业、有机高分子领域、以及科研机关提供解析数据。全年开放,年均工作超2500小时,测试样品数量达3000个/年,每年支持学校10余篇高水平论文的发表。 |
效果展示
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