加速电压:120KV;放大倍数:普通模式200-1200000，低倍模式10-1000;前处理仪器配备有离子减薄仪Gatan 695.B、线切割机科晶STX-202A、冲孔仪等。

2020年7月正式投入使用，承担化学与材料科学学院《大型仪器原理与操作》和《材料检测技术》2门硕士生课程的教学任务，同时为材料科学研究提供测试支撑，通过培训并考核合格的学生可自主上机操作。除面向校内院系开放外，还服务了204所、西安电子科技大学、西北工业大学等科研院所样品测试的需求。