加速电压:200KV电子枪:肖特基场发射;
TEM点点分辨率:0.25nm;
信息分辨率:0.12nm;
STEM分辨率:0.16nm;
样品倾斜角度X/Y:±30
可同时采集4X幅来自不同角度的电子信号，明场(BF)，环形明场(ABF)，环形暗场(ADF)和大角度环形暗场(HAADF)的图像。

2019年1月正式投入使用，具有形貌观察、成分检测、结构分析等多种功能，样品测试量约2.4万个/年，至今为本院200余篇论文提供数据支撑，其中影响因子大于10.0的论文有70余篇。除面向校内院系开放外，还服务了西北工业大学、第四军医大学、204所等科研院所样品测试的需求。