分辨率:1.0nm(15kV);
1.4nm(1kV,WD=1.5mm,减速模式);
2.0nm(1kV,WD=1.5mm,普通模式)
放大倍数:30倍-800,000倍;电子枪:冷阴极场发射电子源;
加速电压:0.5-30kV(0.1KV/步，可变，普通模式)
样品台:X:0-50mmY:0-50mm,Z:1.5-15mm
样品尺寸最大直径:100mm(标准)

2016年11月投入使用，用于观察固体样品的表面形貌，包括金属类样品、非金属类样品、生物制样、矿石产品以及电子元器件产品等，配备的Horiba能谱仪可以在进行形貌观察的同时进行微区的成分分析。运行至今，已为100余篇高水平论文提供了数据支撑。经过培训且考核合格的师生均可上机测试，年均运行机时可达3000小时以上。