(1)测量范围:“J”型扫描管:横向(X-Y)范围125umx125um，竖直(Z)范围5.0um“E”型扫描管:横向(X-Y)范围10umx10um，竖直(Z)范围2.5um
(2)噪声:垂直(Z)方向上的RMS值<0.3Å(带防震系统的测量值)

2014年9月投入使用，该设备主要通过探针来对样品表面的三维形貌进行表征，属于扫描探针显微镜的一种。配备有接触、轻敲、Scan Asyst、Scan Asyst-Fluid等模式，可用于各研究领域大气或者溶液环境中的样品形貌检测，广泛应用于物理、化学、材料、电子以及生命科学等领域。运行至今，该仪器为50余篇高水平论文提供了数据支撑，经过培训且考核合格的师生均可上机测试。