1.测量高度方向的重复性≤4埃;
2.最大扫描长度55mm，用于测量弯曲度和波纹度;
3.垂直分辨率为1埃(在6.55um范围内);精确8英寸样品台(X-Y-自动定位)
4.标准垂直测量范围1-1000微米;
5.标准采样点可达120,000/扫描;
6.可用最小0.03的压力测试PDMS材料表面。

2019年投入使用，具有纳米尺度的表面轮廓测量能力，并可以提供更高的重复性和分辨率，特别是测量重复性可以到5A。广泛应用于我院微电子器件、导电聚合物、高性能聚合物凝胶等材料科学领域表面形貌的测量，已为校内多篇高水平论文提供技术支持。